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晶圆定位传感器 M-DW1

采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器

晶圆定位传感器  M-DW1
UL Recognaized CE Marking

UL 、CE 已取得。
CE : EMC指令
UL : Recognition认证

特点

安全性卓越的LED式

以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

安全性卓越的LED式

亦可检测玻璃晶圆

M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

亦可检测玻璃晶圆

可检测涂氮晶圆

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。

0.5ms的高速反应

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置检测

利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

基于2段受光元件的高精度位置检测

可从四个方向引出电缆

传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

可从四个方向引出电缆

内置放大器的小巧、轻盈型

尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。

内置放大器的小巧、轻盈型

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