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晶圆定位传感器 M-DW1(停产品)

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	2023年06月30日

规格

规格

种类		LED式反射型
型号		M-DW1
中心测量距离		45mm
检测物体		3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面		有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度		12.5±5°(注4)
晶圆间距		间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒		SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压		12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下
消耗电流		65mA以下
输出		NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择 <NPN输出> NPN开路集电极晶体管・最大流入电流：100mA ・外加电压：30V DC以下(输出和0V之间) ・剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时) 　　　　　　　 0.4V以下(流入电流为16mA时) <PNP输出> PNP开路集电极晶体管・最大源电流：100mA ・外加电压：30V DC以下(输出和+V之间) ・剩余电压：1V以下(源电流为100mA时) 　　　　　　　 0.4V以下(源电流为16mA时)
	输出动作	可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
	短路保护	装备(自动复位)
反应时间		500μs以下
工作状态指示灯		橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯		绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能		装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式
投光停止输入		信号条件・投光停止：断开或4〜8V ・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度切换输入		信号条件・输入OFF：断开或4〜8V ・输入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度设定		背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式
环境性能	保护构造	IP20(IEC)
	使用环境温度	0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃
	使用环境湿度	35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH
	使用环境照明度	白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下
	耐电压	AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间
	绝缘电阻	所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
	耐振动	频率10〜500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时
	耐冲击	耐久98m/s²(约10G) XYZ方向各5回
投光元件		LED(调制式)
材质		外壳：ABS及SUS301、透镜：丙烯
电缆		0.15mm² 5芯橡皮电缆，长300mm
电缆延长		0.15mm² 以上的电缆全长可延长至10m
重量		本体重量：约75g

(注1)：无指定的测量条件为使用环境温度＝+20℃。
(注2)：检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。
(注3)：对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
(注4)：晶圆旋转时，定位边的最大跳动角度约为±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圆时的中央附近的间距。检测带定位边的晶圆时，对于避开定位边的检测位置，晶圆间距变得更窄，检测信号无法分解，变为连续的宽幅信号。

规格