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晶圆定位传感器 M-DW1(停产品)
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本产品已经停止生产。
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使用注意事项
- 请勿将本产品作为保障人身安全的检测装置使用。
- 欲进行以保障人身安全为目的的检测，请使用符合OSHA、ANSI以及IEC等各国有关人身安全保障的法律和标准的产品。
安装
- 安装传感器时，请使晶圆端面与传感器检测面之间的距离为45mm，并且可12.5°倾斜检测晶圆。安装时，使用M4(长度：16mm)螺丝，紧固扭矩控制在1.2N・m以下。并且，晶圆的位置偏差(突出或凹陷等)会导致检测距离变
化，但是如果误差在5mm范围内，也可实现稳定检测。
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配线
- 请务必在切断电源的状态下进行配线作业。
- 配线错误会导致故障。
- 请确认电源的波动，以免电源输入超过额定范围。
- 使用市售的开关调节器时，请务必将电源的框架式接地(F.G.)端子接地。
- 在传感器安装部周围使用作为干扰发生源的设备(开关调节器、变频马达等)时，请务必将设备的框架式接地(F.G.)端子接地。
- 延长电缆时，可通过截面积为0.15mm2以上的电缆将全长延长至10m。不过，为避免噪音，请尽量缩短配线。
- 请避免与高压线和动力线并行配线，或使用同一配线管，否则会因电磁感应而导致误动作。
- 直流电源请务必使用绝缘变压器。使用自动变压器(自耦变压器)时，有时会损坏本体和电源。
- 使用电源发生电涌时，请将发生源与电涌吸收器连接，以吸收电涌。
其它
- 使用时，请避开电源接通时的过渡状态(0.5s)。
- 快速起动式、高频点亮式荧光灯的光束会给检测造成影响。虽然因传感器类型而有所差异，但还应注意不要使光束直接投射到传感器上。
- 请勿在蒸气、灰尘等较多的场所使用。
- 请勿使产品和稀释剂等有机溶剂或水、油以及油脂直接接触。并且避免在上述环境中使用。
- 注意避免使传感器的检测面上沾染灰尘等。否则会导致误动作。如有灰尘，请用压缩空气吹扫或用软布小心擦拭干净。
检测带定位边晶圆时
- 检测带定位边晶圆时，传感器的安装必须确保可检测定位边以外的位置。为了从不同的角度两次检测晶圆，请设定机械臂等的动作，对检测信号的结果进行OR处理。
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各部名称
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灵敏度切换设定
- 利用灵敏度切换开关(2bits)的组合，可实现4级灵敏度切换。
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| 灵敏度切换开关 | 灵敏度 | |
|---|---|---|
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最高灵敏度 (MAX) |
用于经过氮化膜或氧化膜处理的低反射率晶圆或薄型晶圆［0.3～0.4mm(注1)(注2)］。 |
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高灵敏度 (HIGH) |
最高灵敏度与通常灵敏度两种状态之间。 |
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通常灵敏度 (MID) |
用于抛光晶圆等高反射率晶圆或3mm间距的检测信号。 |
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低灵敏度 (LOW) |
可设定的最低灵敏度状态。 |
| (注1): | 检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。 |
|---|---|
| (注2): | 对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。 |
外部灵敏度切换输入
- 将外部灵敏度切换输入(紫)设为0～3V或9V～+V(26.4VMAX.)，则外部灵敏度切换输入ON；设为断开或4～8V，则外部灵敏度切换输入OFF。
通过外部灵敏度切换输入切换灵敏度时，如下表所示设定灵敏度切换开关。
| 灵敏度切换开关 | 外部灵敏度切换输入 | 灵敏度 | |
|---|---|---|---|
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0～3V或 9V～+V (26.4V MAX.) |
ON | 最高灵敏度 (MAX) |
| 断开或 4～8V | OFF | 通常灵敏度 (MID) |
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0～3V或 9V～+V (26.4V MAX.) |
ON | 高灵敏度 (HIGH) |
| 断开或 4～8V | OFF | 低灵敏度 (LOW) |
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(注1):灵敏度详情请参阅灵敏度切换设定。
灵敏度设定
- 本产品为不易受背景影响的光学部件，但是在检测小口径晶圆等时可能会受背景的影响。因此，在晶圆盒中无晶圆的状态下检测背景、稳定指示灯(绿色)熄灭时，需要设定灵敏度以避免背景的影响。但是，一旦设定灵敏度，灵敏度将会下降。
- 已设灵敏度将保存在EEPROM中，重新接通电源不必重新设定。但是，EEPROM寿命有限，保证写入次数为10万次，请注意。
投光停止功能
- 将外部投光停止输入(粉红色)设为0～3V或9V～＋V(26.4VMAX.)时投光停止。此时输出为非入光状态。
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定时器功能
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检测信号
检测信号宽度
- 不同的传感器输出的检测信号如下所示。
| (1) | 输出宽度大于晶圆厚度的宽幅信号。 |
|---|---|
| (2) | 检测信号的宽度随检测端面的光反射率而变化。 高反射率(抛光、铝蒸镀等)：检测信号宽度大 例): 晶圆厚度 t＝0.6mm → 检测信号宽度 约1.5mm 低反射率(氮化膜、氧化膜处理等)：检测信号宽度小 例): 晶圆厚度 t＝0.6mm → 检测信号宽度 约1.1mm |
| (3) | 检测信号的宽度随检测距离和检测角度而变化。 |
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- 如上所述，根据传感器的检测信号读取晶圆位置时，请考虑反应时间，算出信号ON区域的中间位置。
窄间距检测信号宽度
- 在「检测带定位边的晶圆」时一项中，如果在避开晶圆定位边的位置安装传感器，则晶圆盒内交叉状态的间距如下图变化。
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- 根据晶圆尺寸计算出的间距如下表所示。
| 晶圆尺寸 | 通常间距 | 定位边长度 | 晶圆厚度 | 交叉间距小 | 交叉间距大 |
|---|---|---|---|---|---|
| 3inch(75mm) | 4.75mm | 22.2mm | 0.380mm | 1.58mm | 3.17mm |
| 4inch(100mm) | 4.75mm | 32.5mm | 0.625mm | 1.54mm | 3.21mm |
| 5inch(125mm) | 4.75mm | 42.5mm | 0.625mm | 1.52mm | 3.23mm |
| 6inch(150mm) | 4.75mm | 57.5mm | 0.675mm | 1.43mm | 3.33mm |
| 8inch(200mm) | 6.35mm | 59.3mm | 0.725mm | 2.19mm | 4.16mm |
- 如左图所示，由于交叉状态的间距变小，因此，高反射率的晶圆需要的间距分解能力(极限值3mm)下降，可能导致两种检测信号不分离。
并且检测信号会因灵敏度设定、晶圆光反射率或检测状态(检测距离或检测角度)而变化。
因此，倾斜插入晶圆时，窄间距侧两种信号发生重叠，检测信号有时连续有时分离。 - 对于晶圆盒内带定位边的晶圆，可能会因定位边的位置而导致在两次检测之中，有一次传感器穿过定位边而无法检测。
因此，倾斜插入晶圆时可能无法输出分离的检测信号。此时，根据检测信号算出的晶圆位置信息必定是异常状态。
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