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LED型晶圆校准传感器 HD-T1

使用安全的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测

LED型晶圆校准传感器  HD-T1
CE Marking

CE 已取得。
CE : EMC指令

特点

无需任何安全措施

使用安全的红色LED作为光源,无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时必备的保护罩,在美国使用时不需要符合FDA标准。

施工简便

使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降至最低限度,维护轻松。

施工简便

低消耗电流70mA以下

检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。

高分辨率30μm

虽然使用红色LED作为光源,但仍然具有激光传感器同样的高性能,因此可实现高精度检测。

无需光轴调整

投、受光部一体型,无需繁琐的光轴调整。并且,检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域,可对应各种不同尺寸的晶圆。

配备系数和偏移量调整功能

模拟输出(1~5V)除了系数调整功能之外,还具备方便的偏移调整功能,可在±0.5V的范围内转换模拟电压。

配备系数和偏移量调整功能

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