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单触式安装 耐真空光纤

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耐真空光纤商品构成

图片：耐真空光纤商品构成

耐真空透过型光纤(2根组)

大气侧光纤另售。请另行购买。

种类 前端形状(mm) 型号 弯曲半径
(mm)		 光纤长度 光轴直径
(mm)		 使用
环境
温度
耐
真
空		 耐热300℃、
可安装镜头(FV-LE1/SV1/SV2)
 FT-40V R25 1m(注1) ø1.3 -30～
+300℃
(注1): 不为自由裁切割。提供以100mm为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。
・ 备有透过型光纤用透镜。详情请参考可选件页面。
>>点击进入可选件页面
・ 关于检测距离，详情请参阅「数字光纤传感器 FX-550 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-500 Ver.2 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-100 光纤一览 」。

耐真空反射型光纤

大气侧光纤另售。请另行购买。

种类 前端形状(mm) 型号 弯曲半径
(mm)		 光纤长度 使用
环境
温度
耐
真
空		 长距离
反射型		 耐热300℃、方头
 FD-KZ50V R25 1m(注1) -30～
+300℃
限定
反射型		 耐热300℃、玻璃基板检测
 FD-L10V 3m(注1)
(注1): 不为自由裁切割。提供以100mm为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。
・ 关于检测距离，详情请参阅「数字光纤传感器 FX-550 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-500 Ver.2 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-100 光纤一览 」。

大气侧(2根组)

种类 前端形状(mm) 型式名 弯曲半径
(mm)		 光纤长度 自由裁切 使用
环境
温度
大
气
侧		 强韧
FT-J9		 R4
耐屈曲		 2m(注1) ○(注2) -30～
+80℃
(注1): 不为自由裁切割。提供以1m为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。
(注2): 自由裁切型的光纤，根据末端部分的处理检测距离最多会缩短20%，敬请注意。
・ 以下标志表示不会折断(弯曲半径：R10mm、往复弯曲：180°)、而且可以弯曲(弯曲半径：R4mm以下)的光纤。
强韧

耐真空法兰

适用光纤为FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9。

品名 型号 内容
耐真空法兰
1CH		 FV-FR1 使大气侧和真空侧绝缘。
真空槽壁(反应室)的推荐厚板
・FV-FR1：3.0～40.0mm。(注1)
耐真空法兰
4CH		 FV-FR4 使大气侧和真空侧绝缘。
真空槽壁(反应室)的推荐厚板
・FV-FR4：3.0mm以上。(注2)
(注1): 非推荐板厚的真空槽无法安装FV-FR1，请事先充分确认。
(注2): 真空槽壁过厚可能无法在真空侧光纤上安装FV-FR4。届时请在真空侧光纤与FV-FR4已经连接的状态下进行安装。

耐真空法兰　主要规格

型号 FV-FR1 FV-FR4
适用光纤 FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9
泄露量 1.0×10−10Pa・m3/s以下(※使用He探测器)
使用环境温度 −30～＋120℃
(保存时相同。在高湿度环境下最高为＋40℃。应无结露、结冰。)
使用环境湿度 35～85％RH(保存时相同。)
紧固强度 螺母14.7N・m以下(M14螺母部) 9.8N・m以下(M8螺丝)
拉伸强度 20N以下(大气侧/真空侧光纤接头部)
O形环尺寸 V15 V40
重量 约100g 约410g
材质 本体：SUS303、固定金属件：SUS301、
光纤部：石英玻璃、O形环：氟橡胶

另行购买附件

•FD-KZ50V用安装配件
MS-FD-2：

图片：MS-FD-2

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