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可在300℃的高温·真空下使用。
■可在300℃的高温·真空下使用。 ■ 光导入端子FV-BR1的泄漏量仅为1.33×10-10Pa・m3/s〔He〕以下,真空中也可放心使用
真空槽内的FPD检测
耐反复弯曲性能强,可达10万次以上(R20mm时),安装在机械手上也能放心使用。
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